硅料清洗機其實就是太陽能光伏硅片（單晶和多晶都適用）的一種清洗設備，那么他主要廣泛用于生產及半導體元器件生產中晶片的濕法化學工藝。該設備可有效去除晶片表面的有機物、顆粒、金屬雜質、自然氧化層及石英、塑料等附件器皿的污染物，且不破壞晶片表面特性。可用于完成擴散前、光刻后、后及氧化前等工藝的清洗工作。例如：RCA清洗、SPM清洗、清洗、金屬離子及雜物去除清洗等。

硅料清洗機又分為全自動硅料清洗機和手動硅料清洗機

全自動硅料清洗機的特點：

（1）進口伺服驅動機構及機械手臂，清洗過程中無需人工操作。

（2）通過PLC實現控制，全部操作通過觸摸屏界面一次完成。

（3）可預先設制多條清洗工藝，可同時運行多條工藝。

（4）自動化程度高，適用于批量生產，確保清洗質量的一致性。

（5）自動氮氣鼓泡裝置可有效提高產品質量，縮短清洗時間。

（6）可選裝層流凈化系統及自動配酸裝置。

手動硅料清洗機特點：

（1）可根據不同的清洗工藝配置各種相應的清洗功能槽。功能槽包括：加熱酸缸、功能槽包括：加熱酸缸、HF腐蝕、BHF（HF恒溫緩沖腐蝕）、超聲清洗槽、恒溫水浴、QDR（快排沖水）、電爐等。

（2）清洗功能槽模塊化，各部分有獨立的控制單元，可隨意組合。

（3）關鍵件采用進口部件，提高設備的可靠性及使用壽命。

（4）采用進口耐腐蝕板材，防酸、防腐，有效避免酸液的侵蝕。

（5）控制系統的元器件具備防腐、防潮功能，確保安全的工作環境。

（6）結構緊湊，占地面積小，造型美觀、實用。

（7）操作符合人機工程原理，具有良好的操作界面，使用方便、靈活。

（8）閉式清洗，有效改善工作環境，保障操作人員安全。